KLA-Tencor公司
超微力台阶仪/膜厚仪
(用于薄膜,厚膜FPD(LCD,TP,CF),MEMS
太阳能,LED,光电子...)
XP-1/XP-2
XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300
α-step IQ(100,200,250,500)
α-step P6
α-step P16+(P1,P2,P10,P11,P11,P15)
α-step P16+0F
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KLA-Tencor公司
光学轮廓仪
(白光干涉/ 移相干涉)
MicroXam 100
MicroXam
1200
膜厚
摩擦学
超精密光学及机械加工表面
MEMS
太阳能
LED(PSS)
光电子器件
LCD
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MNC公司
半导体衬底厚度测量设备
Si
兰宝石Al2O3
玻璃/LCD大尺寸玻璃
光学晶体
SiC
GaAs
单/多晶太阳能硅片
背减薄厚度测试
粗糙度,平整度
在线厚度检测
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