KLA-Tencor公司
超微力台阶仪/膜厚仪
(用于薄膜,厚膜FPD(LCD,TP,CF),MEMS
太阳能,LED,光电子...)

XP-1/XP-2
XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300
α-step IQ(100,200,250,500)
α-step P6
α-step P16+(P1,P2,P10,P11,P11,P15)
α-step P16+0F

KLA-Tencor公司
光学轮廓仪
(白光干涉仪/ 移相干涉仪)

MicroXam 100
MicroXam 1200

膜厚
摩擦学
超精密光学及机械加工表面
MEMS
太阳能
LED(PSS)
光电子器件
LCD

Filmetrics公司
光谱式反射膜厚仪

单点测量：F20,F10-RT,F10-AR,
      PARTS,F10-HC,F10-PA,F70
显微镜微斑测量：
      F40,F40-UV,F40-NSR,F42
自动测量：
      F50,F60-t,F60-c,F80t,F80-c
在线测量：F30,F37

深紫外/可见光/近红外
测量: 光刻胶(含100um以上厚胶),PI,
    SiO2,SiN,Polymer,...

MNC公司
MN-1光谱色散3D轮廓仪

测量三维形貌,微纳结构
测量平整度,波度,翘曲度
测量纳米级粗糙度
测量基片/基板/箔片的厚度
测量大型异型件(球面,非球面)

MNC公司
MN-2 太阳能及湿膜厚度测量

厚膜电路
丝网印刷
太阳能
太阳能绒面
粗糙度,平整度
TSV孔

MNC公司
GT-100 玻璃厚度测试仪

测量玻璃厚度
测量TTV
在线测量
适用于其他透明材料

The AFM Workshop
原子力显微镜

TS-AFM型小样品原子力显微镜
NP-AFM型大样品原子力显微镜   
SA-AFM型原子力显微镜 (可用于倒置光学显微镜/TERS)

设计和源代码公开
开放式的SPM平台
XY线性压电扫描器

探针种类：
全球最尖的1nm探针
导电探针
金刚石探针
力标定探针
深宽比探针
CNT探针
磁力探针
化学探针
无针尖悬臂梁
特殊探针